Estructuras MOS con nanocristales para dispositivos electrónicos

Autores/as

Francisco David Mateos Anzaldo

Sinopsis

El objetivo principal de este trabajo es la fabricación y caracterización de estructuras metal óxido semiconductor (MOS) con una compuerta dieléctrica que contiene nanoclústers de silicio cristalino y/o amorfo autoensambladas dentro de una matriz de óxido amorfo.

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Publicado

June 21, 2022

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