Estructuras MOS con nanocristales para dispositivos electrónicos
Sinopsis
El objetivo principal de este trabajo es la fabricación y caracterización de estructuras metal óxido semiconductor (MOS) con una compuerta dieléctrica que contiene nanoclústers de silicio cristalino y/o amorfo autoensambladas dentro de una matriz de óxido amorfo.
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Publicado
June 21, 2022
Derechos de autor 2022 Francisco David Mateos Anzaldo
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